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書誌情報サマリ

書名

マイクロ波プラズマの技術　

著者名 電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会／編
著者名ヨミ デンキ ガッカイ マイクロハ プラズマ チョウサ センモン イインカイ
出版社 オーム社
出版年月 2003.9

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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 帯出区分 請求記号 配架場所 状態 書庫状態
1 中　央9103073799一般帯出可427.6//２階開架在庫 

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000310086685
書誌種別 図書
書名 マイクロ波プラズマの技術　
書名ヨミ マイクロハ プラズマ ノ ギジュツ
著者名 電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会／編
出版社 オーム社
出版年月 2003.9
ページ数　　（枚数） 257p
大きさ 22cm
分類記号 427.6
内容紹介 マイクロ波帯のプラズマ生成と制御の技術を基礎から解説するとともに、各種応用のための技術や事例を具体的に解説。平成12年から2年間「マイクロ波プラズマ調査専門委員会」で行なわれた調査の結果を系統的に整理する。
件名1 プラズマ物理学
件名2 マイクロ波



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