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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (図解入門)

著者名 佐藤 淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版社 秀和システム
出版年月 2019.12


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 帯出区分 請求記号 配架場所 状態 書庫状態
1 中 央9105600918一般帯出可549.8/サト/2階開架在庫 

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2019
549.8 549.8
半導体

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000801835028
書誌種別 図書
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (図解入門)
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ
叢書名 Visual Guide Book
版表示 第3版
副書名 ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
著者名 佐藤 淳一/著
出版社 秀和システム
出版年月 2019.12
ページ数  (枚数) 261p
大きさ 21cm
ISBN/レーベル番号 978-4-7980-6037-8
分類記号 549.8
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
件名1 半導体



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