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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体リソグラフィ技術 (ビギナーズブックス)

著者名 岡崎 信次/著
著者名ヨミ オカザキ シンジ
著者名 鈴木 章義/著
著者名 上野 巧/著
出版社 工業調査会
出版年月 2003.6


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No. 所蔵館 資料番号 資料種別 帯出区分 請求記号 配架場所 状態 書庫状態
1 中 央9103019177一般帯出可549.7//2階開架在庫 

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2003
507.7

書誌詳細

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タイトルコード 1000310059108
書誌種別 図書
書名 はじめての半導体リソグラフィ技術 (ビギナーズブックス)
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
叢書巻次 29
著者名 岡崎 信次/著
著者名 鈴木 章義/著
著者名 上野 巧/著
出版社 工業調査会
出版年月 2003.6
ページ数  (枚数) 305p
大きさ 21cm
分類記号 549.7
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。
件名1 リソグラフィー
件名2 半導体



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