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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

シリコンLSIと化学　(新産業化学シリーズ)

著者名 伴 保隆／著
著者名ヨミ バン ヤスタカ
出版社 大日本図書
出版年月 1993.10

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1 中　央1101991765一般帯出可549.7/ﾊﾞﾝ/自動書庫在庫 入庫中

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書誌詳細

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タイトルコード 1000010318726
書誌種別 図書
書名 シリコンLSIと化学　(新産業化学シリーズ)
書名ヨミ シリコン エルエスアイ ト カガク
著者名 伴 保隆／著
出版社 大日本図書
出版年月 1993.10
ページ数　　（枚数） 252p
大きさ 22cm
分類記号 549.7
内容紹介 1.シリコンLSI 2.シリコンLSIの基礎 3.シリコンLSIと化学 4.ウェハープロセスと化学 5.超LSIの今後と応用技術
件名1 集積回路
件名2 シリコン(半導体)



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